沖電氣工業(yè)日前上市了采用MEMS技術(shù)生產(chǎn)的3軸加速度傳感器模塊“ML8950”(發(fā)表資料(日文))。在外形尺寸為5.0mm×5.0mm×1.4mm的封裝內(nèi)封裝有傳感器元件和控制IC。與競爭對手最薄的產(chǎn)品相比，厚度還要小0.1mm。這是該公司首次投產(chǎn)基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器。主要面向便攜終端、娛樂設(shè)備及安全系統(tǒng)等。 ML8950的特點是通過數(shù)字信號輸出檢測結(jié)果。這是在控制IC中集成10位A-D轉(zhuǎn)換電路實現(xiàn)的。這樣便可省掉原來安裝在外部的A-D轉(zhuǎn)換IC。此外，在控制IC中還集成了信號放大電路和溫度補償電路等。 　　利用壓電電阻效應(yīng)檢測加速度、傾斜及沖擊等。通過利用SOI(絕緣體上硅)晶圓的MEMS技術(shù)進行生產(chǎn)，提高了傳感器元件的耐沖擊性、實現(xiàn)了芯片的小型化和薄型化。額定加速度為±3G，耐沖擊性為4000G，驅(qū)動電壓為+2.5V～+3.3V。 　　沖電氣工業(yè)將在“CEATEC JAPAN 2004”(會期2004年10月5日～10月9日)上展出此次開發(fā)的產(chǎn)品。將于2004年10月開始提供工業(yè)樣品、2005年4月開始量產(chǎn)供貨。工業(yè)樣品的價格為5000日元(約合人民幣385元)。 　　沖電氣工業(yè)從1999年便開始接受基于硅微細加工技術(shù)的MEMS生產(chǎn)委托業(yè)務(wù)。今后，該公司的目標是開發(fā)高功能MEMS傳感器，2006年實現(xiàn)銷售額100億日元(約合人民幣7.7億)。