5月19日，美國熱電集團向外界宣布，該公司全新一款X射線探測器問世。該產(chǎn)品可配置在熱電集團的MicroXRT系列微束X熒光分析系統(tǒng)上，對于半導體及微電子行業(yè)的薄膜分析，該探測器有著其他產(chǎn)品無可比擬的性能優(yōu)勢。 微束X射線熒光分析系統(tǒng)采用了能量色散X熒光光譜和聚焦光路技術，是一種對于金屬薄膜進行分析的理想工具。而熱電集團此次發(fā)布的全新固態(tài)X射線探測器將極大地擴展系統(tǒng)的使用靈活性，該技術將不再需要液氮冷卻，維護更方便，可快速啟停。 對于薄膜分析領域，熱電的固態(tài)Si(Li) 探測器具有非常高的分辨率和靈敏度。同時，由于Si(Li)探測器的能量范圍上限可達29 keV，因而可以對更重的元素進行檢測。而10mm的有效檢測器區(qū)域，使得Si(Li)探測器具有更窄的幾何角度以及大取樣角，從而大大改善了對于痕量元素的檢出限。 作為一項相對而言較新的技術，熱電集團的固態(tài)硅漂移探測器對于那些要求有高計數(shù)率或是高通量的應用領域尤為理想。它可以提供更短的分析時間，更出色的精確度，并且計數(shù)率統(tǒng)計速度較之以往提高了十倍。 在一些對于分辨率和靈敏度有著苛刻要求的分析領域，熱電集團還可以提供一項該公司的專利技術??真空導管技術（Vacuum ConduitT），作為微束X射線熒光分析系統(tǒng)的選件。這項技術將使X射線束產(chǎn)生與檢測通道處于真空狀態(tài)而無需再對樣品室抽真空，樣品可直接暴露在大氣環(huán)境下。