Apogee Technology公司推出Sensilica系列“全硅”壓力傳感器。與現有產品相比，該公司的第一款MEMS產品在尺寸、成本、性能和可靠性上均具有相當的優(yōu)勢。此外，Apogee公司還計劃在年內推出六款新的Sensilica產品以滿足工業(yè)、消費、汽車、醫(yī)療和HVAC等領域對壓力傳感器的需求。 Apogee公司Sensilica傳感器的關鍵性優(yōu)勢在于采用了新穎的制造和設計方法，使傳感器的尺寸比現有產品減小了4倍。這種產品無需使用多個元件來實現壓力傳感，因而有效地降低了成本，提高了產品的可靠性。此外，Sensilica傳感器結構牢固，能有效降低傳感器在過壓條件下出現故障。 第一款Sensilica產品是每平方英寸0-75磅壓力的傳感器裸片，特別適合尋求極小尺寸下低成本、高性能絕對壓力傳感測量產品的OEM廠商使用。該公司現已推出工程樣品，計劃于2005年下半年正式量產。