美國模擬器件公司日前開發(fā)出了可對角速度測定范圍進(jìn)行編程的單軸角速度傳感器。作為一種傳感器，可運(yùn)用于工業(yè)設(shè)備和機(jī)器人等各種用途。2006年8月量產(chǎn)。 該傳感器具備SPI接口，可通過此接口改寫旨在設(shè)置測定范圍的寄存器。測定范圍可從±80/秒、±160/秒，±320/秒3種方式中選擇。通過寄存器的改寫，還可設(shè)置取樣周期。該傳感器具有超過規(guī)定值時輸出信號的功能，還可為此設(shè)置規(guī)定值。角速度的輸出數(shù)據(jù)作為14位串行信號進(jìn)行輸出。采用尺寸為11mm×11mm×5.8mm的LGA封裝。每千個批量購買時單價為48.5美元。 該傳感器采用了該公司稱之為“iMEMS”的技術(shù)。iMEMS是利用表面微加工技術(shù)，對傳感器部分和外部電路進(jìn)行單芯片集成。