橫河電機(jī)推出了用于2μm近紅外線半導(dǎo)體激光器的開發(fā)生產(chǎn)的光譜分析儀?？蓪?duì)1200nm～2400nm的光進(jìn)行最小感光靈敏度為－70dBm的測(cè)量。產(chǎn)品名稱為“AQ6375”。2μm近紅外線半導(dǎo)體激光器在用于檢測(cè)空氣中的溫室氣體等微量氣體方面需求越來越大，此前該用途的激光器的開發(fā)生產(chǎn)中一般使用分光器來確認(rèn)特性。該公司將光通信測(cè)量?jī)x技術(shù)應(yīng)用于長(zhǎng)波長(zhǎng)光的測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了使用分光器不可能實(shí)現(xiàn)的靈敏度及分辨率的提高和檢測(cè)時(shí)間的縮短。  

　　產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)中環(huán)保措施日趨重要、必須檢測(cè)CO2等溫室效應(yīng)氣體及SO2、NO2等破壞環(huán)境氣體的場(chǎng)合越來越多。因此，橫河電機(jī)一直在推進(jìn)正確檢測(cè)空氣中微量氣體的方法??激光吸收分光法的開發(fā)。當(dāng)光線入射到在空氣中時(shí)，不同的氣體分子吸收不同頻率的激光。激光吸收分光法是通過測(cè)定激光（頻率與被檢測(cè)氣體的頻率相對(duì)應(yīng)）被吸收的程度來檢測(cè)氣體濃度的技術(shù)。正確的檢測(cè)必須采用在特定頻率之外沒有高強(qiáng)度峰值的高質(zhì)量2μm頻帶的近紅外線半導(dǎo)體激光器。若存在不必要的峰值，就會(huì)產(chǎn)生影響精度的噪音。  

　　過去，該用途激光器的開發(fā)生產(chǎn)使用分光器，沒有多余的峰值。但是存在可測(cè)定強(qiáng)度的動(dòng)態(tài)范圍小、測(cè)定分辨率低等問題，無(wú)法充分地對(duì)高質(zhì)量激光器進(jìn)行測(cè)定。例如，分光器最小感光靈敏度較低，僅為-40～-50dBm，因此檢測(cè)不出造成噪音的多余的峰值。此次的產(chǎn)品采用了用于通信用可視光激光器開發(fā)的光譜分析儀技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了－70dBm的感光靈敏度。  

　　此外，使用分光器時(shí)的波長(zhǎng)分辨率約為0.5nm，頻率軸的精度也不高。AQ6375先通過衍射光柵使分光后的光反射回來，再通過衍射光柵將分辨率提高到最小0.05nm。另外，在0.1μm的波長(zhǎng)測(cè)定范圍內(nèi)，使用分光器時(shí)需要數(shù)分鐘到數(shù)十分鐘的測(cè)測(cè)量，利用新光譜分析儀在1秒以下，即使難測(cè)量的情況也能實(shí)現(xiàn)在1分鐘以內(nèi)完成測(cè)量。