Micro-Metric公司開(kāi)發(fā)的Innova光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)可用于半導(dǎo)體、光電器件和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）裝置等微小尺寸的點(diǎn)到點(diǎn)（PTP）和視場(chǎng)（FOV）非接觸式測(cè)量。視場(chǎng)測(cè)量的最小尺寸為0.5μm，測(cè)量精度可達(dá)0.010μm（10nm）；除可手動(dòng)進(jìn)行單點(diǎn)測(cè)量外，還可通過(guò)編程進(jìn)行全自動(dòng)逐點(diǎn)順序測(cè)量。儀器采用了移動(dòng)行程為（200×200）mm（X，Y）的高精密工作臺(tái)和能進(jìn)行精密深度測(cè)量的共焦顯微鏡，并可對(duì)亮度轉(zhuǎn)換進(jìn)行亞象素級(jí)插補(bǔ)，從而可實(shí)現(xiàn)亞微米線寬的測(cè)量。通過(guò)分析被測(cè)物體的邊緣銳度，顯微鏡可在最佳焦點(diǎn)處實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚焦定位。