Oki公司近日推出全球最薄超小型三軸加速計(jì)模塊ML8950，集成傳感器芯片和控制IC，具有全球最薄封裝形式。除具有檢測(cè)三軸（X，Y和Z）加速度（±3g）功能外，三軸加速計(jì)模塊不僅可以檢測(cè)出傾斜和沖擊震蕩，還可測(cè)量出傾斜度和振動(dòng)度。適用于移動(dòng)電話、移動(dòng)設(shè)備、HDD和娛樂設(shè)備等應(yīng)用。Oki公司將于2004年10月在日本和北美推出ML8950樣品，于2005年4月投入大批量生產(chǎn)。三軸加速計(jì)模塊ML8950可檢測(cè)出三軸加速度、傾斜和振動(dòng)，并以數(shù)字格式輸出信號(hào)。采用微型電機(jī)（micromachined）技術(shù)和絕緣體上外延硅（SOI）晶片，Oki公司成功開發(fā)出結(jié)合高震蕩殘存性、1.4mm薄膜和小規(guī)格傳感器芯片的模塊，可滿足裝配于移動(dòng)設(shè)備的所有要求。 控制IC芯片裝配在信號(hào)放大電路、控制電路、模數(shù)轉(zhuǎn)換器和溫度補(bǔ)償電路上。此外，它還是首例具有數(shù)字接口的三軸加速計(jì)模塊。由于它可直接連接到CPU，所以無需使用設(shè)備上的模數(shù)信號(hào)轉(zhuǎn)換器，便可內(nèi)嵌于數(shù)字設(shè)備中。 ML8950是Oki公司向MEMS市場(chǎng)推出的首例產(chǎn)品，計(jì)劃到2007年3月財(cái)政年度為止其銷售目標(biāo)達(dá)到100億日元。